centrotherm liefert Horizontalanlagen an japanischen Chiphersteller Renesas für die Erweiterung seiner 300-mm-Leistungshalbleiter-Fabrik

Blaubeuren, 12. September 2023 – Der japanische Chiphersteller Renesas Electronics Corporation wird zwei Clusteranlagen der neuen centrotherm Horizontalofen-Generation c.HORICOO 300 in seine 300 mm-Waferproduktionslinie in Kofu, Japan (Präfektur Yamanashi) integrieren. Renesas zählt zu den weltweit führenden Halbleiterherstellern und bietet Mikrocontroller, analoge Bauelemente sowie Leistungshalbleiter für Automobil- und Industrieanwendungen an. Renesas wird als erster japanischer Hersteller die durchsatzstarke, vollautomatisierte Produktionslösung von centrotherm in der Massenproduktion einsetzen.

Das Anlagencluster c.HORICOO 300 ist für Oxidations- und Annealing-Prozesse auf 300 mm Silizium-Wafern konzipiert. Mit seinem vollautomatischen Wafer- und Boot-Handling bietet das 8-Rohr-Cluster eine Reduzierung der Gesamtbetriebskosten um bis zu 50 % im Vergleich zu vertikalen Ofenlösungen bei einer deutlichen Verbesserung der Ausbeute.

Nach der Markteinführung und Evaluierungsphase im Jahr 2018 ist das durchsatzstarke Anlagencluster bereits in Produktionslinien namhafter europäischer Kunden integriert worden. Aufgrund des Vertriebserfolgs bei Renesas erwartet centrotherm einen Pull-Effekt bei japanischen Halbleiterherstellern sowie bei den führenden asiatischen Produzenten.

Ab 2024 wird Renesas die Produktion seiner neuen IGBTs in der Fabrik in Kofu aufnehmen. Dort werden Transistoren für die nächste Generation von Wechselrichtern für Elektrofahrzeuge hergestellt, die erhebliche Einsparungen bei der Batterieleistung erzielen und damit die Reichweite der Fahrzeuge deutlich erhöhen sollen.

„Die c.HORICOO 300 ist eine wichtige Komponente für den Ausbau unserer Leistungshalbleiterfabrik für 300-mm-Wafer. centrotherm zählt zu den führenden Anbietern von thermischer Prozesstechnologie für die Halbleiterindustrie. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit und darauf, unsere Geschäftsbeziehungen in den nächsten Jahren zu vertiefen“, sagt Kojiro Horita, Senior Director of Power Device Project Office, Production and Technology Unit,
Renesas Electronics Corporation.

Über centrotherm international AG
Thermische Produktionslösungen und Beschichtungstechnologien zählen zu den Kernkompetenzen von centrotherm. Seit über 70 Jahren entwickeln und realisieren wir Produktionskonzepte für einen
stetig wachsenden internationalen Kundenkreis. Neben Wachstumsbranchen wie der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie sowie der Photovoltaik finden unsere innovativen Lösungen auch in neuen Zukunftsfeldern wie der Faser- oder Batterieherstellung Anwendung. Als führender, global agierender Technologiekonzern arbeiten wir eng mit Partnern aus Industrie und Forschung zusammen. Wir verbessern bestehende Produktionskonzepte und setzen neue Trends. So generieren wir werthaltige Wettbewerbsvorteile für unsere Kunden. Weltweit arbeiten mehr als 600 Mitarbeiter an der Gestaltung der Zukunft – GREEN | SMART | EFFICIENT.

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